Zasilacz RF serii RHH

Krótki opis:

Zasilacz RF serii RHH opiera się na dojrzałej technologii generacji RF, aby zapewnić klientom zasilacz RF o większej mocy, wyższej precyzji i szybkiej reakcji. Z możliwością ustawienia fazy, sterowaniem impulsowym, cyfrowym strojeniem i innymi funkcjami. Zastosowania: przemysł fotowoltaiczny, przemysł wyświetlaczy płaskich, przemysł półprzewodników, przemysł chemiczny, laboratorium, badania naukowe, produkcja itp.
Zastosowane procesy: osadzanie chemiczne z fazy gazowej wspomagane plazmą (PECVD), trawienie plazmowe, czyszczenie plazmowe, źródła jonów o częstotliwości radiowej, dyfuzja plazmowa, rozpylanie polimeryzacyjne plazmowe, rozpylanie reaktywne itp.

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Wyślij do nas e-mail

Cechy

● Style półceglane i montowane w szafie
● W pełni cyfrowe sterowanie z wygodnym i bogatym menu operacyjnym
● Funkcje strojenia częstotliwości, impulsów i synchronizacji impulsów
● Z funkcją synchronizacji faz CEX
● Doskonała funkcja ochrony

Szczegóły produktu

Wejście	Napięcie wejściowe: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (specjalne specyfikacje mogą być dostosowane)
Wejście	Częstotliwość wejściowa: 47~63Hz
Wyjście	Częstotliwość wyjściowa: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Zakres strojenia: ±5%
	Moc wyjściowa: 1,5~5 kW
	Zakres regulacji mocy wyjściowej: 1~100%
	Impedancja wyjściowa: 50Ω+j0
	Interfejs wyjściowy: typ N
	Tryb wyjścia: ciągły, impulsowy
	Częstotliwość impulsów: 100Hz~100kHz
	Współczynnik wypełnienia: 5~95%
Wskaźnik wydajności	Współczynnik mocy: 0,98
	Dokładność stabilności częstotliwości: ±0,005%
	Sprawność: 75% (przy mocy znamionowej)
	Harmoniczne: ＜-45dBc
	Błądzący: ＜-50dBc
	Interfejs sterowania zewnętrznego: ilość analogowa, komunikacja i synchronizacja
	Tryb komunikacji: Standardowy interfejs komunikacyjny RS485; Opcjonalnie Ether CAT, przemysłowy Ethernet itp.
Uwaga: produkt nadal się rozwija, a wydajność stale się poprawia. Ten opis parametru ma charakter wyłącznie informacyjny.