Zasilacz RF serii RHH
-
Zasilacz RF serii RHH
Zasilacze RF serii RHH opierają się na dojrzałej technologii generowania częstotliwości RF, aby zapewnić klientom zasilanie RF o większej mocy, większej precyzji i szybkiej reakcji.Z możliwością ustawienia fazy, sterowaniem impulsowym, strojeniem cyfrowym i innymi funkcjami.Obowiązujące dziedziny: przemysł fotowoltaiczny, przemysł wyświetlaczy płaskich, przemysł półprzewodników, przemysł chemiczny, laboratorium, badania naukowe, produkcja itp.
Stosowane procesy: chemiczne osadzanie z fazy gazowej wspomagane plazmą (PECVD), trawienie plazmowe, czyszczenie plazmowe, źródło jonów o częstotliwości radiowej, dyfuzja plazmy, rozpylanie polimeryzacyjne plazmowe, rozpylanie reaktywne itp.