Zasilacz RF
-
Zasilacz RF serii RLS
Zasilacze RF serii RLS wykorzystują aktualny stabilny i niezawodny wzmacniacz mocy oraz podstawowy system sterowania DC firmy, dzięki czemu produkt ma bardzo stabilną wydajność i wysoką niezawodność produktu. Zastosuj chiński i angielski interfejs wyświetlacza, łatwy w obsłudze. Stosowane głównie w przemyśle fotowoltaicznym, przemyśle wyświetlaczy płaskich, przemyśle półprzewodników, przemyśle chemicznym, laboratorium, badaniach naukowych, produkcji itp.
-
Matchery serii RMA
Można go dostosować do zasilaczy RF serii RLS i jest szeroko stosowany w trawieniu plazmowym, powlekaniu, czyszczeniu plazmowym, odśluzowywaniu plazmowym i innych procesach. Używany samodzielnie, może być używany razem z zasilaczami RF innych producentów.
-
Zasilacz RF serii RHH
Zasilacze RF serii RHH opierają się na dojrzałej technologii generowania częstotliwości RF, aby zapewnić klientom zasilanie RF o większej mocy, większej precyzji i szybkiej reakcji. Z możliwością ustawienia fazy, sterowaniem impulsowym, strojeniem cyfrowym i innymi funkcjami. Obowiązujące dziedziny: przemysł fotowoltaiczny, przemysł wyświetlaczy płaskich, przemysł półprzewodników, przemysł chemiczny, laboratorium, badania naukowe, produkcja itp.
Stosowane procesy: chemiczne osadzanie z fazy gazowej wspomagane plazmą (PECVD), trawienie plazmowe, czyszczenie plazmowe, źródło jonów o częstotliwości radiowej, dyfuzja plazmy, rozpylanie polimeryzacyjne plazmowe, rozpylanie reaktywne itp.