Zasilacz rozpylający średniej częstotliwości serii MSB

Krótki opis:

Zasilacze RF serii RHH opierają się na dojrzałej technologii generowania częstotliwości RF, aby zapewnić klientom zasilanie RF o większej mocy, większej precyzji i szybkiej reakcji.Z możliwością ustawienia fazy, sterowaniem impulsowym, strojeniem cyfrowym i innymi funkcjami.Obowiązujące dziedziny: przemysł fotowoltaiczny, przemysł wyświetlaczy płaskich, przemysł półprzewodników, przemysł chemiczny, laboratorium, badania naukowe, produkcja itp.

Stosowane procesy: chemiczne osadzanie z fazy gazowej wspomagane plazmą (PECVD), trawienie plazmowe, czyszczenie plazmowe, źródło jonów o częstotliwości radiowej, dyfuzja plazmy, rozpylanie polimeryzacyjne plazmowe, rozpylanie reaktywne itp.

Szczegóły produktu

Tagi produktów

Wyślij e-mail do nas

Cechy

● Modele półcegiełkowe i do montażu w stojaku

● Zastosuj w pełni cyfrowe sterowanie z wygodnym i bogatym menu obsługi

● Funkcje strojenia częstotliwości, impulsów i synchronizacji impulsów

● Z funkcją synchronizacji faz CEX

● Doskonała funkcja ochrony

Szczegóły produktu

Wejście	Napięcie wejściowe: AC220V±10% 3ΦAC380V±5%(Specjalne specyfikacje można dostosować)
Wejście	Częstotliwość wejściowa: 47 ~ 63 Hz
Wyjście	Częstotliwość wyjściowa: 13,56 MHz, 27,12 MHz, 40,68 MHz
	Zakres strojenia: ±5%
	Moc wyjściowa: 1,5 ~ 5 kW
	Zakres regulacji mocy wyjściowej: 1~100%
	Impedancja wyjściowa: 50Ω+j0
	Interfejs wyjściowy: typ N
	Tryb wyjścia: ciągły, impulsowy
	Częstotliwość impulsów: 100 Hz ~ 100 kHz
	Cykl pracy: 5 ~ 95%
Wskaźnik wydajności	Współczynnik mocy: 0,98
	Dokładność stabilności częstotliwości: ± 0,005%
	Wydajność: 75% (przy mocy znamionowej)
	Harmoniczne: ＜-45dBc
	Bezpańskie: ＜-50dBc
	Zewnętrzny interfejs sterowania: ilość analogowa, komunikacja i synchronizacja
	Tryb komunikacji: Standardowy interfejs komunikacyjny RS485;Opcjonalnie Ether CAT, Ethernet przemysłowy itp.
Uwaga: produkt jest stale udoskonalany, a jego wydajność stale się poprawia.Ten opis parametrów ma charakter wyłącznie informacyjny.