Zasilacz do rozpylania średniej częstotliwości serii MSB
-
Zasilacz do rozpylania średniej częstotliwości serii MSB
Zasilacz RF serii RHH opiera się na dojrzałej technologii generacji RF, aby zapewnić klientom zasilacz RF o większej mocy, wyższej precyzji i szybkiej reakcji. Z możliwością ustawienia fazy, sterowaniem impulsowym, cyfrowym strojeniem i innymi funkcjami. Zastosowania: przemysł fotowoltaiczny, przemysł wyświetlaczy płaskich, przemysł półprzewodników, przemysł chemiczny, laboratorium, badania naukowe, produkcja itp.
Zastosowane procesy: osadzanie chemiczne z fazy gazowej wspomagane plazmą (PECVD), trawienie plazmowe, czyszczenie plazmowe, źródła jonów o częstotliwości radiowej, dyfuzja plazmowa, rozpylanie polimeryzacyjne plazmowe, rozpylanie reaktywne itp.